OCA 表面接触角与润湿性测量
DataPhysics Instruments · 工程测量与特性分析
- 方案用途
- 在键合前表面准备中，比较清洗／活化后及不同等待时间的润湿变化，识别需要进一步检查的批次差异。
- 技术方式
- 定量滴液并拍摄液滴轮廓，计算接触角；按所选探测液及计算模型评估表面能。
- 适用范围
- 适用于能够定位液滴并获得清晰轮廓的表面；晶圆位置测量、自动化和环境控制需按 OCA 型号及附件确认。
- 限制与待确认事项
以下为 BLNKK 根据公开资料整理的评估建议，并非原厂保证或必备资料清单。
适用边界接触角或表面能不能单独证明表面洁净、键合强度或良率。不同探测液、测量时点与计算方法的结果不可直接混用，晶圆自动定位也不是所有配置的标配。
评估准备BLNKK 建议准备表面材料、清洗／活化和保存记录、处理后等待时间及取样位置。固定探测液、滴液量和读数时点，保留原始图像及正常批次对照。
向供应商确认确认型号／附件、液滴与表面兼容性、轮廓判读和表面能计算方式。约定位置重复性、数据输出及其他分析对照；键合放行条件需另以实件证据建立。
- 公开依据
- 官方 OCA 与 dpiMAX 页面公开接触角、表面能和位置测量方法，未提供特定混合键合表面放行标准。
补充参考资料
联系供应商
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相关工程问题
以下链接来自已建立的方案关系，可继续查看工程条件和评估准备。
资料由 BLNKK 根据公开来源整理。公司资料不代表已有对应方案；方案适用性仍需结合实际样品和工程条件确认。