FLX-2320-S／FLX-3300-T 热薄膜应力测量
跟踪金属、介电层及其他薄膜在升降温过程中的应力变化，识别 CTE 失配、应力松弛和相变引起的曲率及缺陷风险。
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能力与应用
翘曲、形貌与应力测量、材料参数与界面设计、可靠性验证与失效分析
翘曲、形貌与应力测量材料参数与界面设计可靠性验证与失效分析
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