FLX-2320-S／FLX-3300-T 熱薄膜應力量測
追蹤金屬、介電層或其他薄膜在升降溫過程中的應力變化，辨識 CTE 不匹配、應力鬆弛與相變造成的曲率和缺陷風險。
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能力與應用
翹曲、形貌與應力量測、材料參數與介面設計、可靠度驗證與失效分析
翹曲、形貌與應力量測材料參數與介面設計可靠度驗證與失效分析
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