你的方案地图
RDL 层间接触初始高电阻
先确认 BLNKK 对问题的理解,再掌握优先路线、候选方案与仍缺的条件。
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你的方案地图
先确认问题理解,再决定深入评估哪些方案。
3优先路线17候选方案17已整理来源
BLNKK 对问题的当前理解
请确认内容- 结构/接合面
- RDL 层间过孔底部与金属接触
- 观察阶段
- RDL 制造后首次电性验证
- 待定位现象
- 初始高接触电阻或局部不连续
- 工程决策
- 用 Kelvin/chain 与目标界面定位决定过孔开口、清洁或 seed 覆盖对照
- 仍需样品证据
- Kelvin/chain 的 sense 范围与正常对照为何?
优先评估路线
各路线用途不同,可搭配使用01
Kelvin/chain 电阻拆分先界定量到哪一段接触
优先02
开口与底部接触定位由电性样品找目标界面
优先03
界面清洁与 seed 对照固定测量/结构比较接触形成
优先目前候选方案
样品适用性仍待确认四线/Kelvin 低电阻测量评估Tektronix / Keithley· 可协助回答:公开接线方法支持降低引线误差,实际 layout 决定 Rc 可辨识范围。
→RDL via 开口/底部目标分析评估ASE· 可协助回答:公开定位与截面能力可用于已知初始异常样品。
→测量、界面与 PVD 清洁共同审查BLNKK 工程审查需求(服务方待确认)· 可协助回答:三路输入均齐备才比较开口、界面处理及 seed 的可验证差异。
→下一步:确认工程条件用 4 个关键条件调整评估顺序,再选择要比较的方案。
进入工程条件 →