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技术问答BLNKK 编辑整理

混合键合前表面可接合性放行:下一轮应如何设计对照?

先确认接合前对象与自有窗口,保留原始表面和返工前后样品。

接合前表面Cu recess活化等待

问题背景与判读重点

BLNKK 公开资料整理

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  • 自有放行窗口与覆盖范围由谁验证和批准?
  • 局部 Cu recess 与长尺度形貌是否同位置可比?
  • 清洁活化后暴露与返工如何影响下一站表面?
待补充的技术问答
  • 自有放行窗口与覆盖范围由谁验证和批准?
  • 局部 Cu recess 与长尺度形貌是否同位置可比?
  • 清洁活化后暴露与返工如何影响下一站表面?

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