问题背景与判读重点
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- 空洞位于填铜本体还是热负荷后 Cu/Cu 界面?
- 孔型、panel 位置与正常/异常取样是否具代表性?
- 前处理、等待、CVS、电流与液流如何保留可比履历?
SOLUTION NAVIGATOR先建立组装前孔型、孔内缺陷位置与 panel/批次取样图。
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