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技术问答BLNKK 编辑整理

晶圆探测出现假开路或温变漂移,如何确认接触和温控?

先核对焊盘、凸点几何、探针接触、仪器校准及实际温度;排除测试假象后,再安排 RDL、TSV 等目标失效分析。

晶圆探测接触与温控有效性

问题背景与判读重点

BLNKK 公开资料整理

先比较接触基准、探针力及实际温度,再区分测试假象与器件故障

  • 记录探针总力、接触方式、焊盘或凸点位置及压痕,不能将名义兼容视为有效接触。
  • 使用基准样品、开路、空白及接触重复性对照;低电流功能须确认实际配置。
  • 记录稳定时间、自热、热接触及漂移;承片台设定值不能证明 DUT 实际温度。
待补充的技术问答
  • 晶圆探测出现假开路或温变漂移,如何确认接触和温控?

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