B1500A 低电流 I–V 特性分析

Keysight Technologies · 翘曲、形貌与应力测量

方案用途: TSV 或绝缘测试结构出现漏电时，需要比较偏压与电流的关系，先检查测量有效性。
技术方式: B1500A 通过配置的源测量单元施加偏压并记录 I–V 特性；测量模块、附件和设置根据电流范围及试样选择。
适用范围: 具有可接触测试端子的结构，例如 TSV-to-bulk 试样；需建立可用接点、guard 接线及低漏电夹具。
限制与待确认事项: 以下为 BLNKK 根据公开资料整理的评估建议，并非原厂保证或必备资料清单。
适用边界
I–V 不能单独区分绝缘衬层针孔、污染或裂纹，也不能定位缺陷深度。标称分辨率不等于实测精度或完整夹具的可用漏电下限。
评估准备
BLNKK 建议整理接点图、偏压序列与限流、预期漏电、测量温度、guard 接线及空白夹具对照结果。
向供应商确认
确认 SMU 与所需选件、夹具及接线、测量积分与稳定时间，以及实际测量下限和校准流程。请说明低电流测量的环境条件。
公开依据: Keysight 产品页与 2026 年 8 月 17 日数据手册说明了模块配置，并分别列出分辨率、精度及其测量条件。

补充参考资料

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