Impact HV 高黏度光化学液过滤器
Entegris · 工艺设备与温度控制
- 方案用途
- 比较 RDL 涂覆及显影缺陷时，需要掌握供液颗粒、微气泡和过滤配置，才能核对供液条件的影响。
- 技术方式
- Impact HV 使用 UPE 膜在使用点过滤兼容的高黏度光化学液及聚酰亚胺工艺液，帮助截留颗粒和微气泡。
- 适用范围
- 原厂列出的光化学液／PI 供液，按具体料号、化学兼容性、温度及压差窗口评估。
- 限制与待确认事项
以下为 BLNKK 根据公开资料整理的评估建议，并非原厂保证或必备资料清单。
适用边界额定截留不保证去除所有纳米颗粒或完全无气泡。含功能填料的 underfill／EMC 未列为该用途，需要另行评估是否改变预期配方。
评估准备BLNKK 建议整理液体配方、黏度、供液及滤器更换历史，对照压降、颗粒／气泡、过滤前后配方和涂覆缺陷。
向供应商确认确认料号、兼容性、投用与更换方法，以及本流量、温度和压力下的截留表现及添加剂保持数据。
- 公开依据
- 当前产品页与 2023 年 2 月数据表列出具名 HV 配置、1 µm 额定截留和 40°C 工作上限；压力规格附有温度条件。
补充参考资料
联系供应商
查看公司联系信息，通过官方渠道咨询此方案。
相关工程问题
以下链接来自已建立的方案关系，可继续查看工程条件和评估准备。
资料由 BLNKK 根据公开来源整理。公司资料不代表已有对应方案；方案适用性仍需结合实际样品和工程条件确认。