EAG XPS 接合前表面化学分析

Eurofins EAG Laboratories · 工程测量与特性分析

方案用途: 比较清洗及等待条件对接合前表面化学的影响，补充形貌测量无法回答的成分问题。
技术方式: 通过 XPS 光电子能谱分析暴露表面的元素组成和化学态，辅助比较氧化与残留。
适用范围: 可评估尚未接合、可送检且适合真空分析的铜／介电表面；接合前用途需与实验室确认。
限制与待确认事项: 以下为 BLNKK 根据公开资料整理的评估建议，并非原厂保证或必备资料清单。
适用边界
XPS 主要反映最外层表面，不能直接代表埋藏的接合界面或证明接合合格；溅射深度分析会移除材料。
评估准备
BLNKK 建议整理材料、清洗／等待／转移记录、对照样品和目标位置，避免送样污染掩盖原始差异。
向供应商确认
确认样品真空兼容性、分析区域、充电处理、判读方法，以及是否需要深度分析及其影响。
公开依据: EAG 六页服务指南介绍 XPS 原理、清洗／氧化分析及限制，文件修订于 2022 年 12 月。

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