QuantumATK 原子界面传输比较
Synopsys · 原子、分子与材料仿真
- 方案用途
- 接触电阻偏高时，可用原子模型比较材料和界面结构的影响，再与实际接点测量对照。
- 技术方式
- QuantumATK 通过原子尺度材料建模和电子输运计算，研究互连金属、阻挡层及接触界面的电学行为。
- 适用范围
- 适合材料成分、界面结构及计算边界可明确定义的研究；用于 RDL 接触材料时，需要建立对应模型。
- 限制与待确认事项
以下为 BLNKK 根据公开资料整理的评估建议，并非原厂保证或必备资料清单。
适用边界结果取决于所建界面和计算方法；不能据此排除模型未包含的空洞、污染或形貌影响，也不能替代实际接点电阻和工艺验证。
评估准备BLNKK 建议整理金属／阻挡层成分、界面结构假设、工艺差异和接点电阻测量，作为模型与实验对照的讨论起点。
向供应商确认确认所需计算模块、界面建模方法、收敛检查、实测校准方式及可交付的输运分析范围。
- 公开依据
- 原厂半导体资料列出互连／阻挡金属界面电阻计算；产品页说明多种原子尺度计算方法。
补充参考资料
联系供应商
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相关工程问题
以下链接来自已建立的方案关系，可继续查看工程条件和评估准备。
资料由 BLNKK 根据公开来源整理。公司资料不代表已有对应方案；方案适用性仍需结合实际样品和工程条件确认。