TOK TLDP-300 激光加工保护涂料
Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. · 材料参数与界面设计
- 方案用途
- 比较激光加工的表面污染和损伤时，应将保护涂层及移除流程作为工艺变量。
- 技术方式
- TLDP-300 是水溶性树脂溶液，用于在晶圆表面形成激光加工保护层。
- 适用范围
- 用于晶圆激光加工的表面保护；具体叠层、激光条件和后续清洗兼容性需要单独确认。
- 限制与待确认事项
以下为 BLNKK 根据公开资料整理的评估建议，并非原厂保证或必备资料清单。
适用边界保护用途不保证零颗粒、零残留或不存在热影响区，也不能修复已有热损伤；水溶性不代表所有器件都适合水洗。
评估准备BLNKK 建议整理晶圆叠层、表面材料、激光波长和脉冲／能量、涂布及热处理历史、清洗限制与现有缺陷图像。
向供应商确认确认建议膜厚、涂布／干燥和移除条件、激光及材料兼容性，并约定表面残留、颗粒和截面损伤的对照方法。
- 公开依据
- 官方专属段落说明水溶性及晶圆激光保护用途，并展示加工和清洗后图像，未给出本项目的热损伤或残留规格。
联系供应商
查看公司联系信息，通过官方渠道咨询此方案。
相关工程问题
以下链接来自已建立的方案关系，可继续查看工程条件和评估准备。
资料由 BLNKK 根据公开来源整理。公司资料不代表已有对应方案；方案适用性仍需结合实际样品和工程条件确认。