Evonik AERODISP CMP 硅微粉分散液
在 TSV 露出／表面高低差比较中，评估 CMP 配方磨粒原料，与去除选择性、划痕及清洗结果对照。
Evonik Operations GmbH
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- 提供电子工艺磨粒分散液、界面偶联硅烷与电子级氧化剂。
其他名称: Evonik · Evonik Industries group · AERODISP · Dynasylan · PERTRONIC
应用范围: CMP 配方开发、TSV 表面整合准备
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中国大陆 · 原厂办事机构 · 业务咨询
Evonik (China) Co., Ltd. — Beijing
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台湾 · 原厂办事机构 · 业务咨询
Evonik Taiwan Ltd. — Taipei
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德国 · 原厂办事机构
Evonik Operations GmbH — Hanau
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