Profilm3D 白光干涉表面形貌与弓曲测量
测量可见表面的凸块高度、共面性、台阶高度与粗糙度，帮助比较局部高度分布和表面形貌。
Filmetrics
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- Profilm3D 白光干涉表面形貌与弓曲测量 · 翘曲、形貌与应力测量
- Filmetrics F20 光刻胶与介电膜厚比较 · 工程测量与特性分析
其他名称: Filmetrics, a KLA company
应用范围: 晶圆／芯片／RDL／薄膜／MEMS · RDL 光刻胶／介电薄膜 · 代表性 seed／金属膜
目录中的方案 · 3
Filmetrics F20 光刻胶与介电膜厚比较
RDL 工艺评估需要明确光刻胶或介电膜厚差异，避免与线形异常混为一谈。
Filmetrics R54 金属膜方块电阻对照
比较代表性金属膜的方块电阻与均匀性，协助将薄膜输入与过孔接触电阻分开调查。
工程问题中的候选方案
以下候选方案已收录于工程问题流程，可继续查看条件、来源和比较内容。
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美国 · 原厂办事机构 · 业务咨询
Filmetrics (KLA Instruments) — U.S. Sales and Applications
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KLA Instruments — Global Support Contact Center
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