S neox 6 多技术三维光学形貌测量
微凸点高度与共面性、RDL 形貌及局部粗糙度会影响后续工艺判断；需要可比较的表面高度和尺寸数据，而不只是显微图像。
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- S neox 6 多技术三维光学形貌测量 · 翘曲、形貌与应力测量
应用范围: 晶圆／RDL／铜柱／封装表面
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