Cheetah EVO 半导体 X 射线与层析成像检测
在不破坏封装的情况下,检查微凸点、TSV、芯片贴装层及 3D IC 接点中的空洞、偏移和隐藏缺陷,减少直接切片造成的样品损失。
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能力与应用
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在不破坏封装的情况下,检查微凸点、TSV、芯片贴装层及 3D IC 接点中的空洞、偏移和隐藏缺陷,减少直接切片造成的样品损失。
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