工艺设备与温度控制TAIKO 外周支撑式超薄晶圆研磨晶圆减薄后刚性大幅下降,容易翘曲、搬运破片和边缘崩角,并使后续金属化、TSV 或凸点工艺更困难。官方网站 ↗官方资料TECHNICAL BRIEFING器件减薄:TAIKO 技术说明 ↗LOCALIZED PAGETAIKO 工艺(繁体中文) ↗