翘曲、形貌与应力测量SAM Auto Panel 面板级封装声学检测在 fan-out 面板及多层封装中,以无损方式发现光学检测或常规 X 射线不易识别的分层、空洞、裂纹、键合缺陷及厚度变化。官方网站 ↗官方资料TECHNICAL PRESENTATIONSAM 在先进封装中的检测范围与定位 ↗