翘曲、形貌与应力测量SmartLab SE 薄膜残余应力与结晶取向 XRD 分析RDL、UBM、金属化与薄膜层因沉积温度和 CTE 差异形成残余应力,可能引发裂纹、局部起伏、剥离或基板变形。官方网站 ↗官方资料APPLICATION NOTE金属薄膜取向与残余应力评估 ↗