翹曲、形貌與應力量測SmartLab SE 薄膜殘餘應力與結晶取向 XRD 分析RDL、UBM、金屬化與薄膜層因沉積溫度和 CTE 差異形成殘餘應力,可能引發裂縫、局部起伏、剝離或基板變形。官方網站 ↗官方資料APPLICATION NOTE金屬薄膜取向與殘餘應力評估 ↗