Synapse Si/ZF 300 mm 混合键合与退火前返工流程
300 mm 熔合/铜混合键合不仅需要清洗、等离子活化及高精度对准;若退火前检测发现空洞或套刻问题,还需要降低整片报废风险。
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能力与应用
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300 mm 熔合/铜混合键合不仅需要清洗、等离子活化及高精度对准;若退火前检测发现空洞或套刻问题,还需要降低整片报废风险。
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