你的方案地圖
HBM 微凸塊熱壓接合出現 non-wet、冷接或開路
先確認 BLNKK 對問題的理解,再掌握優先路線、候選方案與仍缺的條件。
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你的方案地圖
先確認問題理解,再決定要深入哪些方案。
2優先路線12候選方案12已整理來源
BLNKK 目前理解
請確認內容- 封裝架構
- HBM/細間距微凸塊;堆疊層數、接點尺寸與基板待確認
- 觀察現象
- 接合後部分開路、non-wet、冷接或局部橋接
- 製程階段
- TCB 接合、接點檢查與早期電性測試
- 待驗證變因
- 熱、壓力、時間、傾斜、共面性、氧化去除與殘留
- 仍缺資訊
- 接點缺陷圖、設備 trace、表面處理、良品批次與目標截面
優先評估路線
各路線用途不同,可搭配使用01
TCB 熱壓與傾斜窗口分開檢查壓合不足、過壓與共面性
優先02
微凸塊定位與截面確認 cold joint、void、bridge 或其他接點型態
優先目前候選方案
尚需確認樣品適用性TCB 製程窗口TCB 溫度、壓力與 tilt 控制評估Kulicke & Soffa· 可協助回答:熱、壓力與 tilt 是否落在可重複接合窗口?
→Fluxless 表面路線AOR TCB 主動氧化去除路線ASMPT· 可協助回答:是否需要以主動氧化去除降低 flux/清潔相關變因?
→接點物理分析微凸塊 cold joint/void/bridge 目標分析ASE· 可協助回答:代表性接點呈現 cold joint、void、bridge 或其他型態?
→下一步:確認工程條件用 3 個關鍵條件調整評估順序,再選擇要比較的方案。
進入工程條件 →