你的方案地圖
臨時接合脫載殘留與清潔相容性
先確認 BLNKK 對問題的理解，再掌握優先路線、候選方案與仍缺的條件。
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你的方案地圖
先確認問題理解，再決定要深入哪些方案。
3優先路線11候選方案12已整理來源
BLNKK 目前理解
請確認內容- 結構／接合面
- 脫載後晶圓表面臨時接合材料殘留
- 觀察階段
- 脫載及清潔後下一站前
- 待定位現象
- 殘留薄膜、污染或清潔後表面改變
- 工程決策
- 用殘留鑑別與表面相容性決定清潔方法和後續製程放行
- 仍需樣品證據
- 未洗殘留位置／組成和檢出限制是否已保存？
優先評估路線
各路線用途不同，可搭配使用01
原始殘留定位與材料分析先留未洗正常／異常對照
優先02
支撐下的材料相容清潔對照按材料歷史做受控候選比較
優先03
清潔後下一站表面證據審查比較殘留減少和表面代價
優先目前候選方案
尚需確認樣品適用性脫載殘留目標表面分析評估ASE· 可協助回答：公開材料分析可按未洗與同位置對照確認可交付鑑別範圍。
→EVG 脫載／支撐清潔整合評估EV Group· 可協助回答：公開設備支撐與清潔能力可列為已知材料歷史下的候選。
→殘留清潔與下一站共同審查BLNKK 工程審查需求（服務方待確認）· 可協助回答：材料相容控制和下一站前後表面均齊備才比較清潔方法與保留／放行證據。
→下一步：確認工程條件用 5 個關鍵條件調整評估順序，再選擇要比較的方案。
進入工程條件 →