問題背景與判讀重點
BLNKK 公開資料整理Fraunhofer IZM 與 imec 的公開研究分別指出 panel 對位與 mold-first 晶粒位移挑戰。以下量測順序是 BLNKK 編輯提出的評估計畫,須由實際樣品確認。
- 保留跨步驟晶粒座標與形貌圖。
- 把位置補償與流程變更分開評估。
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Fraunhofer IZM 與 imec 的公開研究分別指出 panel 對位與 mold-first 晶粒位移挑戰。以下量測順序是 BLNKK 編輯提出的評估計畫,須由實際樣品確認。
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