問題背景與判讀重點
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- 形貌量測時有哪些支撐、遮蔽與基準?
- 失敗發生在哪個搬送/吸附步驟,是否可重播?
- 候選載具的下段與脫載限制為何?
SOLUTION NAVIGATOR先對位自由/支撐形貌、接觸區與載入失敗步驟。
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