你的方案地圖
Fan-out 面板翹曲與吸附搬送窗口
先確認 BLNKK 對問題的理解，再掌握優先路線、候選方案與仍缺的條件。
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你的方案地圖
先確認問題理解，再決定要深入哪些方案。
3優先路線11候選方案11已整理來源
BLNKK 目前理解
請確認內容- 結構／接合面
- 重構面板及設備吸附／搬送支撐
- 觀察階段
- 封模後搬送、曝光與設備載入
- 待定位現象
- 面板形貌造成吸附或製程載入失敗
- 工程決策
- 用支撐下形貌與設備接觸條件決定載具、搬送或面板平坦化流程
- 仍需樣品證據
- 形貌量測時有哪些支撐、遮蔽與基準？
優先評估路線
各路線用途不同，可搭配使用01
自由／支撐形貌量測建立接觸區的殘餘形貌圖
優先02
吸附與搬送支撐對照固定樣品狀態比較設備載入
優先03
載具與下段製程整合比較支撐改變及脫載代價
優先目前候選方案
尚需確認樣品適用性支撐形貌光學量測評估Akrometrix· 可協助回答：公開方法可量形貌；治具遮蔽與支撐重現性需另確認。
→JetStep 面板 handling 選項評估Onto Innovation· 可協助回答：公開 handling 選項可納入設備支撐比較需求。
→載具材料與設備共同審查BLNKK 工程審查需求（服務方待確認）· 可協助回答：支撐證據及整合限制均齊備，才比較改載具是否改善載入並保留脫載風險。
→下一步：確認工程條件用 4 個關鍵條件調整評估順序，再選擇要比較的方案。
進入工程條件 →