問題背景與判讀重點
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- 自有放行窗口與覆蓋範圍由誰驗證和批准？
- 局部 Cu recess 與長尺度形貌是否同位置可比？
- 清潔活化後暴露與重工如何影響下一站表面？
技術問答BLNKK 編輯整理
混合鍵合前表面可接合性放行：下一輪應如何設計對照？
先確認接合前對象與自有窗口，保留原始表面和重工前後樣品。
接合前表面Cu recess活化等待
- 自有放行窗口與覆蓋範圍由誰驗證和批准？
- 局部 Cu recess 與長尺度形貌是否同位置可比？
- 清潔活化後暴露與重工如何影響下一站表面？
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