問題背景與判讀重點
BLNKK 公開資料整理以實際支撐形貌比較熱整形、吸附及下站接收窗口
- 核對圓形尺寸、模封材料、晶粒佈局與製程階段;矩形面板不能沿用晶圓配置。
- 保留正反面、中心/邊緣及支撐定義;室溫單點 bow 不能代表載入時形貌。
- 記錄支撐、真空、保持時間與回復;若進行熱整形,另記材料允許溫度及氧化敏感性。未進行熱整形時明確註記,不把整形後瞬間平坦視為永久改善。
SOLUTION NAVIGATOR先記錄圓形重構晶圓的自由與吸附形貌,再核對熱整形、支撐、搬送與下一站接收條件。
以實際支撐形貌比較熱整形、吸附及下站接收窗口
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