問題背景與判讀重點
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- Raman/應變可觀察量與模型分量如何對應?
- 填孔前既存應力與操作溫度是否有同位置基線?
- 本器件方向、無 TSV 對照和性能準則如何決定距離比較?
SOLUTION NAVIGATOR先對位矽/器件位置、量測可觀察量與填孔前後熱歷史。
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