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目前問題TSV 周邊應力與 keep-out 佈局
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TSV 周邊應力與 keep-out 佈局

先確認 BLNKK 對問題的理解,再掌握優先路線、候選方案與仍缺的條件。

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先確認問題理解,再決定要深入哪些方案。

3優先路線11候選方案9已整理來源

BLNKK 目前理解

請確認內容
結構/接合面
TSV 周邊矽與鄰近主動元件
觀察階段
熱退火、操作及設計佈局驗證
待定位現象
局部應變、元件參數或 TSV 周邊裂紋
工程決策
以應力/元件位置關聯決定 keep-out 佈局與材料幾何的相對比較
仍需樣品證據
Raman/應變可觀察量與模型分量如何對應?
下一步:確認工程條件用 5 個關鍵條件調整評估順序,再選擇要比較的方案。
進入工程條件 →