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技術問答BLNKK 編輯整理

晶圓探測出現假開路或溫變漂移,如何確認接觸與溫控?

先核對 pad/凸塊幾何、探針接觸、儀器校正與實際溫度;排除測試假象後,再安排 RDL/TSV 等目標失效分析。

晶圓探測接觸與溫控有效性

問題背景與判讀重點

BLNKK 公開資料整理

先比較接觸基準、探針力與實際溫度,再區分測試假象與元件故障

  • 記錄探針總力、接觸方式、pad/凸塊位置及壓痕,不把名目相容視為有效接觸。
  • 使用 golden、open/blank 與接觸重複性對照;低電流功能須確認實際配置。
  • 記錄穩定時間、自熱、熱接觸與漂移;chuck 設定值不是 DUT 溫度證據。
待補充的技術問答
  • 晶圓探測出現假開路或溫變漂移,如何確認接觸與溫控?

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