QuantumATK 原子介面傳輸比較
Synopsys · 原子、分子與材料模擬
- 方案用途
- 接觸電阻偏高時，可用原子模型比較材料與介面結構的影響，再與實際接點量測對照。
- 技術方式
- QuantumATK 以原子尺度材料建模及電子傳輸計算，研究互連金屬、阻障層與接觸介面的電性。
- 適用範圍
- 適合材料組成、介面結構與計算邊界可定義的研究；用於 RDL 接觸材料時，需建立對應模型。
- 限制與待確認事項
以下為 BLNKK 根據公開資料整理的評估建議，並非原廠保證或必備資料清單。
適用邊界結果取決於所建介面與計算方法；模型未納入的孔洞、污染或形貌不能據此排除。不能代替實際接點電阻與製程驗證。
評估準備BLNKK 建議整理金屬／阻障層組成、介面結構假設、製程差異及接點電阻量測，作為模型與實驗對照的討論起點。
向供應商確認確認所需計算模組、介面建模方法、收斂檢查與實測校準方式，以及可交付的傳輸分析範圍。
- 公開依據
- 原廠半導體資料列出互連／阻障金屬介面電阻計算；產品頁說明多種原子尺度計算方法。
補充參考資料
聯絡供應商
查看公司聯絡資訊，透過官方管道詢問此方案。
相關工程問題
以下連結來自已建立的方案關係，可接續查看工程條件與評估準備。
資料由 BLNKK 依公開來源整理。公司資料不代表已有對應方案；方案適用性仍需依實際樣品與工程條件確認。