Filmetrics R54 金屬膜片電阻對照

Filmetrics · 工程量測與特性分析

方案用途: 比較代表性金屬膜的片電阻與均勻度，協助將薄膜輸入與過孔接觸電阻分開調查。
技術方式: R54 提供接觸式四點探針或非接觸式渦電流配置，並以自動平台繪製量測分布。
適用範圍: 適用於配置可量測的導電膜；此工程用途以代表性試片對照，圖形與幾何須核對。
限制與待確認事項: 以下為 BLNKK 根據公開資料整理的評估建議，並非原廠保證或必備資料清單。
適用邊界
四點探針與渦電流的適用範圍不同；膜厚／電阻率換算需要已知輸入，不能由片電阻同時確定兩者。
評估準備
BLNKK 建議整理膜材、厚度依據、試片尺寸與圖形、量測位置及製程對照，另保留過孔 Kelvin／chain 電性資料。
向供應商確認
確認探頭、幾何校正、可量測區與校正方法，以及膜厚換算假設和資料輸出方式。
公開依據: KLA 官方頁列出 R54 機型、探頭配置，以及由已知厚度或電阻率換算的功能。

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