Profilm3D 白光干涉表面形貌與 bow 量測
量測可見表面的凸塊高度、共面性、階差與粗糙度，協助比較局部高度分布及表面形貌。
Filmetrics
查看供應商公開資訊，以及目前已收錄的技術方案。
查看聯絡資訊 ↓公開能力摘要
- Profilm3D 白光干涉表面形貌與 bow 量測 · 翹曲、形貌與應力量測
- Filmetrics F20 光阻與介電膜厚比較 · 工程量測與特性分析
其他名稱: Filmetrics, a KLA company
應用範圍: wafer／die／RDL／薄膜／MEMS · RDL 光阻／介電薄膜 · 代表性 seed／金屬膜
目錄中的方案 · 3
Filmetrics F20 光阻與介電膜厚比較
RDL 製程評估需要釐清光阻或介電膜厚差異，避免與線形異常混為一談。
Filmetrics R54 金屬膜片電阻對照
比較代表性金屬膜的片電阻與均勻度，協助將薄膜輸入與過孔接觸電阻分開調查。
工程問題中的候選方案
以下候選方案已收錄於工程問題流程，可接續查看條件、來源與比較內容。
公開來源
聯絡資訊
透過以下官方管道，自行聯絡供應商。
美國 · 原廠據點 · 業務洽詢
Filmetrics (KLA Instruments) — U.S. Sales and Applications
官方來源 ↗查閱日期
公司窗口 · 一般聯絡 · 技術支援
KLA Instruments — Global Support Contact Center
官方來源 ↗查閱日期
窗口資料依原廠公開資訊整理；特定產品的負責窗口與服務範圍，請向供應商確認。
資料由 BLNKK 依公開來源整理。公司資料不代表已有對應方案；方案適用性仍需依實際樣品與工程條件確認。