EagleT-AP 微凸塊 2D/3D 檢測與量測
找出高密度凸塊、Cu pillar 與 RDL 的高度、共平面度、尺寸、位置及表面缺陷偏差,支援先進封裝製程控制。
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查看聯絡資訊 ↓應用範圍: Micro-bump/Cu pillar/RDL/PI/PR/via 開口 · RDL 光阻/晶圓圖形
找出高密度凸塊、Cu pillar 與 RDL 的高度、共平面度、尺寸、位置及表面缺陷偏差,支援先進封裝製程控制。
RDL 圖案異常評估需要比較光阻厚度、均勻性與表面輪廓,釐清後續製程前的形貌條件。
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