Evonik AERODISP CMP 矽粉分散液
在 TSV 露出／表面高低差比較中，評估 CMP 配方的磨粒原料，與去除選擇性、刮痕及清洗結果對照。
Evonik Operations GmbH
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- 提供電子製程磨粒分散液、界面偶聯矽烷與電子級氧化劑。
其他名稱: Evonik · Evonik Industries group · AERODISP · Dynasylan · PERTRONIC
應用範圍: CMP 配方開發、TSV 表面整合準備
目錄中的方案 · 1
工程問題中的候選方案
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台灣 · 原廠據點 · 業務洽詢
Evonik Taiwan Ltd. — Taipei
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中國大陸 · 原廠據點 · 業務洽詢
Evonik (China) Co., Ltd. — Beijing
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德國 · 原廠據點
Evonik Operations GmbH — Hanau
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