S neox 6 多技術 3D 光學形貌量測
微凸塊高度與共面性、RDL 形貌及局部粗糙度會影響後續製程判斷；需要取得可比較的表面高度與尺寸資料，而非只看顯微影像。
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- S neox 6 多技術 3D 光學形貌量測 · 翹曲、形貌與應力量測
應用範圍: 晶圓／RDL／銅柱／封裝表面
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