翹曲、形貌與應力量測EagleT-AP 微凸塊 2D/3D 檢測與量測在高密度 bump、Cu pillar、RDL 與 hybrid bonding 製程中,找出高度、共平面度、尺寸、位置與表面缺陷偏差。官方網站 ↗官方資料TECHNICAL DISCLOSURECamtek 2022 年報:Eagle-AP/EagleT-AP 技術與應用 ↗