FC300 高精度高壓力 flip-chip bonder
在大尺寸 chip-to-wafer 與細間距 3D/memory stacking 中,同時控制接合壓力、溫度、平行度與 post-bond placement,降低局部受力不均和接點偏移。
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能力與應用
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在大尺寸 chip-to-wafer 與細間距 3D/memory stacking 中,同時控制接合壓力、溫度、平行度與 post-bond placement,降低局部受力不均和接點偏移。
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