你的方案地图
Fan-out 面板翘曲与吸附搬运窗口
先确认 BLNKK 对问题的理解,再掌握优先路线、候选方案与仍缺的条件。
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你的方案地图
先确认问题理解,再决定深入评估哪些方案。
3优先路线11候选方案11已整理来源
BLNKK 对问题的当前理解
请确认内容- 结构/接合面
- 重构面板及设备吸附/搬运支撑
- 观察阶段
- 塑封后搬运、曝光与设备载入
- 待定位现象
- 面板形貌造成吸附或工艺载入失败
- 工程决策
- 用支撑下形貌与设备接触条件决定载体、搬运或面板平坦化流程
- 仍需样品证据
- 形貌测量时有哪些支撑、遮蔽与基准?
优先评估路线
各路线用途不同,可搭配使用01
自由/支撑形貌测量建立接触区的残余形貌图
优先02
吸附与搬运支撑对照固定样品状态比较设备载入
优先03
载体与下段工艺整合比较支撑改变及解键合代价
优先目前候选方案
样品适用性仍待确认支撑形貌光学测量评估Akrometrix· 可协助回答:公开方法可量形貌;夹具遮蔽与支撑重现性需另确认。
→JetStep 面板 handling 选项评估Onto Innovation· 可协助回答:公开 handling 选项可纳入设备支撑比较需求。
→载体材料与设备共同审查BLNKK 工程审查需求(服务方待确认)· 可协助回答:支撑证据及整合限制均齐备,才比较改载体是否改善载入并保留解键合风险。
→下一步:确认工程条件用 4 个关键条件调整评估顺序,再选择要比较的方案。
进入工程条件 →