EagleT-AP 微凸点 2D/3D 检测与测量
发现高密度凸点、Cu pillar 和 RDL 的高度、共面度、尺寸、位置及表面缺陷偏差,支持先进封装工艺控制。
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发现高密度凸点、Cu pillar 和 RDL 的高度、共面度、尺寸、位置及表面缺陷偏差,支持先进封装工艺控制。
RDL 图形异常评估需要比较光刻胶厚度、均匀性与表面轮廓,了解后续工艺前的形貌条件。
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