Apollo 垂直探针卡
铜柱与凸点的晶圆测试需要控制接触条件和接点受力。Apollo 垂直探针卡可作为比较测试接口及接触有效性的候选。
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铜柱与凸点的晶圆测试需要控制接触条件和接点受力。Apollo 垂直探针卡可作为比较测试接口及接触有效性的候选。
比较 TSV 漏电前,需要区分待测结构电流与接触、夹具及环境背景。
中介层串扰比较需要区分被测结构和探针/夹具自身的耦合。
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