Laser Debond 雷射載具剝離設備

東捷科技 Contrel · 製程設備與窗口控制

研究候選・適用條件待確認

官方搜尋索引；原頁與規格仍需確認。

研究查核日期: 2026-10-15

方案用途: 候選工程用途：【超薄晶圓背磨、搬送或脫載後出現崩邊與裂片】比較載具支撐、薄化、搬送與脫載窗口。【臨時接合脫載殘留與清潔相容性】比較脫載後殘留與清洗前後表面。
技術方式: 來源尚未提供完整機制或製程細節，請向供應商確認。
適用範圍: 候選工程用途：【超薄晶圓背磨、搬送或脫載後出現崩邊與裂片】比較載具支撐、薄化、搬送與脫載窗口。【臨時接合脫載殘留與清潔相容性】比較脫載後殘留與清洗前後表面。
限制與待確認事項: 【超薄晶圓背磨、搬送或脫載後出現崩邊與裂片】需確認晶圓厚度、尺寸、膠材與破片最早發生站點；晶粒貼裝設備只涵蓋其搬送階段。【臨時接合脫載殘留與清潔相容性】需驗證膠材、金屬與介電層相容性；脫載設備不必然具備除膠能力。需由供應商確認樣品、規格及承作條件；未驗證改善效果。
公開依據: 官方來源列出「Laser Debond 雷射載具剝離設備」。

補充參考資料

查看公司聯絡資訊，透過官方管道詢問此方案。

超薄晶圓背磨、搬送或脫載後出現崩邊與裂片

比較載具支撐、薄化、搬送與脫載窗口。

需確認晶圓厚度、尺寸、膠材與破片最早發生站點；晶粒貼裝設備只涵蓋其搬送階段。

臨時接合脫載殘留與清潔相容性

比較脫載後殘留與清洗前後表面。

需驗證膠材、金屬與介電層相容性；脫載設備不必然具備除膠能力。

資料由 BLNKK 依公開來源整理。公司資料不代表已有對應方案；方案適用性仍需依實際樣品與工程條件確認。