FLX-2320-S/FLX-3300-T 熱薄膜應力量測
金屬或介電薄膜的熱膨脹差異與應力變化,可能造成晶圓彎曲、薄膜裂紋或空洞;只比較製程前後,容易遺漏升降溫中的變化。
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查看聯絡資訊 ↓應用範圍: 晶圓/薄膜堆疊 · RDL 實際薄膜疊構
金屬或介電薄膜的熱膨脹差異與應力變化,可能造成晶圓彎曲、薄膜裂紋或空洞;只比較製程前後,容易遺漏升降溫中的變化。
RDL 熱機械模型需要實際膜厚資料,避免僅以名義疊構描述試片。
以下候選方案已收錄於工程問題流程,可接續查看條件、來源與比較內容。
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產品詢問表單可選 FLX 應力量測、TohoSpec 膜厚或輪廓量測。原廠列出的 Quatek/Caltron 位於香港,服務台灣等地的 FLX 與 TohoSpec;洽詢時請確認產品與服務地區。 官方來源 ↗
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