ContourX-500 非接触 3D 表面与共面度测量
芯片、凸点或封装表面的高度、平整度和共面度差异,需要通过 3D 表面测量补充 2D 图像提供的信息。
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查看联系信息 ↓应用范围: 芯片/凸点/封装表面 · 可测聚合物/有机残留 · 预键合表面/晶圆粗糙度 · TSV 材料/参考试样 · 焊料/填充胶试样
芯片、凸点或封装表面的高度、平整度和共面度差异,需要通过 3D 表面测量补充 2D 图像提供的信息。
残留物与胶材的化学组成不明时,可先比较红外光谱,缩小后续清洗与材料核查的方向。
预键合表面需要整理局部粗糙度、台阶和缺陷形貌,以对照清洗/平坦化条件。
TSV 热应力调查可补充晶体材料的晶相和应变对照,并与整体结构模型分别判断。
BGA 疲劳比较可补充焊料或填充胶的局部力学数据,并与焊点几何及循环结果分别判断。
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