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芝浦機械電子 Shibaura Mechatronics

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研究候選・適用條件待確認

公司尚未認領;資料由公開研究整理,不代表供應商背書或效果驗證。

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目錄中的方案 · 3

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製程設備與窗口控制

TFC-6700/TFC-6800 混合鍵合設備

候選工程用途:【混合鍵合 pad 錯位與電性開路】比較混合鍵合對位與電性開路位置。

研究候選・適用條件待確認

官方搜尋索引;原頁與規格仍需確認。

研究查核日期: 2026-10-15

候選用途與工程問題

混合鍵合 pad 錯位與電性開路

比較混合鍵合對位與電性開路位置。

需確認 Cu pad 尺寸、對位能力與鍵合條件;一般覆晶設備不能直接替代。

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製程設備與窗口控制

HSM-1000 鍵合前活化與清洗設備

候選工程用途:【混合鍵合前表面可接合性放行】研究清潔、活化、粗糙度及潤濕性。

研究候選・適用條件待確認

官方搜尋索引;原頁與規格仍需確認。

研究查核日期: 2026-10-15

候選用途與工程問題

混合鍵合前表面可接合性放行

研究清潔、活化、粗糙度及潤濕性。

接觸角只是表面指標之一,不能單獨作混合鍵合放行依據。

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製程設備與窗口控制

TFC-9300 面板級晶粒貼裝設備

候選工程用途:【Fan-out/Panel 封模後晶粒位移與 RDL 對位失敗】建立封模前貼裝與封模後晶粒座標的對照。

研究候選・適用條件待確認

官方搜尋索引;原頁與規格仍需確認。

研究查核日期: 2026-10-15

候選用途與工程問題

Fan-out/Panel 封模後晶粒位移與 RDL 對位失敗

建立封模前貼裝與封模後晶粒座標的對照。

貼裝精度不等於封模後位移;必須保留同一晶粒的前後座標與製程履歷。

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工程問題關聯由 BLNKK 依公開資料整理;不代表已確認樣品適用性或處理成效。

網路研討會

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資料由 BLNKK 依公開來源整理。公司資料不代表已有對應方案;方案適用性仍需依實際樣品與工程條件確認。