玻璃載具晶圓
候選工程用途：【超薄晶圓背磨、搬送或脫載後出現崩邊與裂片】比較載具支撐、薄化、搬送與脫載窗口。 【重構晶圓翹曲與吸附／搬送】比較圓形重構晶圓的支撐與翹曲控制。
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研究查核日期: 2026-10-15SCHOTT
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