Synapse Si/ZF 300 mm 混合鍵合與退火前返工流程
永久晶圓接合需要控制表面、對位與接合品質;若接合後、退火前發現異常,可評估是否有適用的返工路線。
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查看聯絡資訊 ↓應用範圍: CIS/memory/advanced logic/W2W 3D · 300 mm 金屬暴露晶圓表面
永久晶圓接合需要控制表面、對位與接合品質;若接合後、退火前發現異常,可評估是否有適用的返工路線。
評估金屬暴露晶圓表面的濕清潔與乾燥,準備接合前的表面相容性討論。
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