你的方案地图
Fan-out/面板塑封后芯粒位移与 RDL 对准失败
先确认 BLNKK 对问题的理解,再掌握优先路线、候选方案与仍缺的条件。
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先确认问题理解,再决定深入评估哪些方案。
2优先路线11候选方案12已整理来源
BLNKK 对问题的当前理解
请确认内容- 封装架构
- Fan-out/FOPLP;die-first 或 RDL-first 尚待确认
- 观察现象
- 塑封后芯粒坐标与 RDL 设计位置不一致
- 工艺阶段
- 塑封、固化、脱离载体与重布线曝光
- 待验证变量
- 载体、临时固定材料、塑封料、芯粒分布与坐标校正
- 仍缺信息
- 各步骤位移图、旋转量、面板形貌、对位容许值与温度履历
优先评估路线
各路线用途不同,可搭配使用01
芯粒位置测量与 RDL 补偿辨识平移、旋转与局部对位误差
优先02
塑封流动与固化分析评估塑封流程与材料依存性
优先03
载体与封装流程比较确认补偿后的工艺窗口
后续目前候选方案
样品适用性仍待确认对位与工艺研究Panel Level Packaging 工艺与对位研究Fraunhofer IZM· 可协助回答:哪一阶段需要位置补偿?
→塑封模拟IC Packaging 封装模拟Moldex3D· 可协助回答:塑封条件改动是否改变位移趋势?
→架构研究Flip-chip on FO-WLP 流程比较imec· 可协助回答:先形成互连是否改变对位问题?
→下一步:确认工程条件用 3 个关键条件调整评估顺序,再选择要比较的方案。
进入工程条件 →