先补齐本路径所需的样品、记录及对照。
待确认:失效指标、工作负载、电压及时间点是否可追溯?;测试程序、DFx、接口及接触基准是否已确认?工程条件
确认条件,准备下一步。
针对「器件功能/老化及应力测试异常」,补充会改变评估顺序的信息,并检查每个候选的依据与限制。
工程条件
用4个关键条件,看看评估顺序如何改变。
先核对失效模式、测试覆盖、接触及实际器件温度,再准备可重复的功能测试与失效定位。 未知条件保持待确认;可评估不代表方案合格或已找到根因。
问题与流程
测量与对照
所有路径的条件判断
即时变化
目前评估顺序
先补齐本路径所需的样品、记录及对照。
待确认:失效指标、工作负载、电压及时间点是否可追溯?;测试程序、DFx、接口及接触基准是否已确认?;实际器件温度、供电及冷却历程是否可比较?先补齐本路径所需的样品、记录及对照。
待确认:失效指标、工作负载、电压及时间点是否可追溯?;测试程序、DFx、接口及接触基准是否已确认?;是否有可复测的失效和正常器件及位置记录?候选方案
条件改变后的目前判断
此区只依你确认的条件调整评估顺序;公开资料不能证明方案适用于实际样品。
有新的测试结果?更新判断
完成一轮受控对照后,依据实际结果安排下一步。
单一趋势、恢复或同步变化不能证明根因、排除其他失效或保证量产结果。
当前判断与下一步
依据自述条件和公开资料整理;可先评估不代表已验证样品适用性或根因。排列顺序不代表最佳方案。
已知条件 · 0
重要的未知条件 · 4
- 失效指标、工作负载、电压及时间点是否可追溯?保存原始通过/失败、电性指标及对照器件;不能只比较最终良率。
- 测试程序、DFx、接口及接触基准是否已确认?确认夹具、插座或探针、测量范围及测试覆盖;ATE 和 SLT 不能视为相同测试。
- 实际器件温度、供电及冷却历程是否可比较?设定温度不等于结温;保留自热、冷却、电压及安全限制。
- 是否有可复测的失效和正常器件及位置记录?先保存不可逆损伤前的证据;没有正常对照时,复测通过不能证明已找到根因。
值得评估的路径
失效模式与测试可观测性
先补齐本路径所需的样品、记录及对照。
- 失效指标、工作负载、电压及时间点是否可追溯?
- 测试程序、DFx、接口及接触基准是否已确认?
哪些条件会改变这条路径
- 失效指标、工作负载、电压及时间点是否可追溯?支持先评估: 已有可追溯资料 · 目前不适合: 范围不符或资料不可比较
- 测试程序、DFx、接口及接触基准是否已确认?支持先评估: 已有可追溯资料 · 目前不适合: 范围不符或资料不可比较
实际温度、供电及应力控制
先补齐本路径所需的样品、记录及对照。
- 失效指标、工作负载、电压及时间点是否可追溯?
- 测试程序、DFx、接口及接触基准是否已确认?
- 实际器件温度、供电及冷却历程是否可比较?
哪些条件会改变这条路径
- 失效指标、工作负载、电压及时间点是否可追溯?支持先评估: 已有可追溯资料 · 目前不适合: 范围不符或资料不可比较
- 测试程序、DFx、接口及接触基准是否已确认?支持先评估: 已有可追溯资料 · 目前不适合: 范围不符或资料不可比较
- 实际器件温度、供电及冷却历程是否可比较?支持先评估: 已有可追溯资料 · 目前不适合: 范围不符或资料不可比较
接下来先做
尚未提供结果;先补充关键条件,再安排评估。
- 失效指标、工作负载、电压及时间点是否可追溯?
准备这些资料
- 原厂列出逻辑、存储器、光子和功率器件,以及晶圆、面板、裸片和模块测试;可用偏压、温度、功率及测试方式取决于 DUT、接触器和系统配置。 元件形式、接脚及载具相容性 测试图样、内建测试、门槛及逐颗基线 实际偏压、电流、温度、时间与对照样品
- 原厂列出工程开发、终测、burn-in 和系统级测试,并支持集成至 Cohu 取放式分选机。CPU、GPU、ASIC 加速器及网络处理器的可用功耗和温度窗口,取决于温控头及系统配置。 元件功率波形与已校准的温度回授 热头、接触界面与测试机相容性 设定值、瞬态、逐站温度及参考样品
讨论时先问
- 失效指标、工作负载、电压及时间点是否可追溯?
- 测试程序、DFx、接口及接触基准是否已确认?
公开参考来源
Aehr Test Systems · FOX-XP 晶圆/裸芯片/模块老化与测试 ↗适用边界 系统功率上限、接触器容量和通道资源不意味着同一配置可以同时达到所有最大值。Burn-in 可暴露或筛选电性失效,但不能单独定位物理根因,也不保证特定可靠性或良率。 评估准备 BLNKK 建议整理 DUT 形态、引脚与接触载具、测试向量或 BIST、失效判据、初始电性,以及偏压、电流、温度和持续时间,并保留接触和应力误差的检查记录。 向供应商确认 请确认 DUT/接触器兼容性、测试覆盖和电性资源、功率配置、实际结温的测量方法,以及失效记录、接触检查和是否需要选配自动对准。
Cohu · T-Core 大功率 IC 主动温控测试系统 ↗适用边界 加热器或温控头读数不一定等于器件结温,1 ms 控制环也不意味着结温能在 1 ms 内达到设定值。功耗、温度变化速率及温度规格需按温控头、接触界面和配置确认,不构成封装可靠性保证。 评估准备 BLNKK 建议整理器件与封装尺寸、瞬态功率波形、可用温度反馈、测试座/温控头接触和界面材料、设定值及允许偏差,并提供已校准的参考温度和电性结果。 向供应商确认 请确认温控头与分选机/测试机兼容性、结温估算或测量方法、稳态与瞬态验收条件、接触和测试座受力,以及所选配置可处理的功耗和温度范围。
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相关方案
5个候选方案
FOX-XP 晶圆/裸芯片/模块老化与测试
Aehr Test Systems
晶圆、裸晶及模组的通电测试与老炼平台,可记录受控应力下的电性漂移或失效;需排除接触与应力设定误差。
依据:产品页与 FOX-XP Rev C 简介列出最多 18 个 WaferPak 或 9 个 DiePak blade,系统单晶圆功率最高 3500 W。产品页另列 WaferPak 接触器最高 2 kW,需按配置分别确认。查看适用前提、排除条件和方案库关联
- 原厂列出逻辑、存储器、光子和功率器件,以及晶圆、面板、裸片和模块测试;可用偏压、温度、功率及测试方式取决于 DUT、接触器和系统配置。
- 元件形式、接脚及载具相容性
- 测试图样、内建测试、门槛及逐颗基线
- 实际偏压、电流、温度、时间与对照样品
- 适用边界 系统功率上限、接触器容量和通道资源不意味着同一配置可以同时达到所有最大值。Burn-in 可暴露或筛选电性失效,但不能单独定位物理根因,也不保证特定可靠性或良率。 评估准备 BLNKK 建议整理 DUT 形态、引脚与接触载具、测试向量或 BIST、失效判据、初始电性,以及偏压、电流、温度和持续时间,并保留接触和应力误差的检查记录。 向供应商确认 请确认 DUT/接触器兼容性、测试覆盖和电性资源、功率配置、实际结温的测量方法,以及失效记录、接触检查和是否需要选配自动对准。
- 老炼不能单独定位物理根因
- 测试资源、接触配置及实际结温需确认
T-Core 大功率 IC 主动温控测试系统
Cohu
元件功率或二极体回授温控,可协助排除测试中的非预期结温偏移;它是应力控制元件,需搭配完整电测。
依据:现行 T-Core 页面列出最高 800 W 功耗管理、1 ms 闭环控制及最高 100°C/s 温度变化速率;2020 产品资料把 ±1°C 精度定义在加热器位置。2025 年 9 月 Eclipse 公告另列最高 3 kW,不能推广到所有配置。查看适用前提、排除条件和方案库关联
- 原厂列出工程开发、终测、burn-in 和系统级测试,并支持集成至 Cohu 取放式分选机。CPU、GPU、ASIC 加速器及网络处理器的可用功耗和温度窗口,取决于温控头及系统配置。
- 元件功率波形与已校准的温度回授
- 热头、接触界面与测试机相容性
- 设定值、瞬态、逐站温度及参考样品
- 适用边界 加热器或温控头读数不一定等于器件结温,1 ms 控制环也不意味着结温能在 1 ms 内达到设定值。功耗、温度变化速率及温度规格需按温控头、接触界面和配置确认,不构成封装可靠性保证。 评估准备 BLNKK 建议整理器件与封装尺寸、瞬态功率波形、可用温度反馈、测试座/温控头接触和界面材料、设定值及允许偏差,并提供已校准的参考温度和电性结果。 向供应商确认 请确认温控头与分选机/测试机兼容性、结温估算或测量方法、稳态与瞬态验收条件、接触和测试座受力,以及所选配置可处理的功耗和温度范围。
- 单一温控系统不能提供完整功能测试或根因分析
- 热头感测器温度可能不同于实际结温
AMPS 高功率并行老化测试
AEM Holdings
以器件独立控制的高电压应力与热管理比较 burn-in 筛选;不等同功率循环热阻测量。
依据:官网与 AMPS-BI 型录公开并行电性应力、多区温控和器件独立控制架构。这些是设备能力资料,尚非用户产品的筛选覆盖率、结温或可靠性资格验证。查看适用前提、排除条件和方案库关联
- 面向 AI 处理器、HPC 及其他高功率先进封装的老化测试。功率、电流、通道、封装与接触方式需按配置确认,不能默认包含系统级测试等扩展。
- 提供 DUT/封装与安全电压上限、workload/测试覆盖,以及结温或壳温的测量方法。
- 确认接触/散热均匀性,准备参考筛选条件与失效阈值。
- 适用边界 老化筛选不等于完整可靠性资格,也不直接测量功率循环的热阻退化。不能默认最高功率、电流与通道数同时适用;温控值是否代表结温需确认。 评估准备 BLNKK 建议准备封装尺寸、插座/接点需求、电性程序、功耗变化和目标应力时间。补充温度测量基准、筛选覆盖率及失效判定,以便规划配置验证。 向供应商确认 确认可同时运行的器件数、每颗功率/电流/通道配置,以及控温位置与结温关系。另确认接触可靠性、程序切换、记录追溯和需要额外选配的功能。
- Burn-in 不保证现场寿命,测试应力可能产生不同机制;需另做目标界面分析。
3210-A/3200 高功率封装系统级测试
Chroma ATE
以工程 SLT 先确认实际 workload、接触与热管理,再对照量产条件;未保证所有缺陷可观察。
依据:Chroma 2025 及 2026 年官方公告分别说明 3210-A 工程平台、3200 量产配置和条件迁移流程。查看适用前提、排除条件和方案库关联
- 适合高功率先进封装 IC 的工程验证和 SLT 导入;测试板、热引擎和测试站配置需要按器件选择。
- 提供 DUT 的功能 workload、DFT/失效可见性、测试板/socket 接触与施力数据。
- 准备功率/温控、实验室至量产条件对照,以及良/不良样品。
- 适用边界 测试覆盖率取决于程序与工作负载;SLT 不能自行定位所有内部缺陷,也不等于完成封装可靠性验证。 评估准备 BLNKK 建议准备实际工作负载和功率波形、测试板与接点、温度反馈、失效记录及量产站数需求。 向供应商确认 请确认 3210-A 与 3200 各自的热引擎、接触及程序兼容性,以及条件迁移后的逐站校准和失效可观测性。
- SLT 覆盖需验证,不能单独定位所有封装缺陷;平台规模不等于可靠性认证。
UltraFLEXplus SoC 电性测试平台
Teradyne
依测试程序、DFT 可见性与配置测量复现电气失效;不把 ATE 当成默认 burn-in 或界面成像。
依据:Teradyne 公开不同基础系统与具体仪器,分别介绍供电、数字、SERDES/HSIO 和 RF 能力。查看适用前提、排除条件和方案库关联
- SoC、处理器及高速接口测试;测试头、DIB、接触与仪器资源需按器件和程序配置。
- 提供 DUT pinout、DFT/测试程序、测量资源配置及 DIB/接触校准。
- 准备功率与散热需求、良品参考和功能/参数失效阈值。
- 适用边界 各仪器规格不代表每套系统都具备全部能力;电性筛查不能独立诊断裂纹、分层,也不等于完成老化筛选或可靠性验证。 评估准备 BLNKK 建议准备测试程序与 DFT 可见性、供电及接口需求、DIB/接触资料、温度条件和失效记录。 向供应商确认 请确认基础系统、所选仪器和夹具配置、程序兼容性及校准,并核对实际测试覆盖率与失败重现方法。
- ATE 不是默认 burn-in 系统;可见性取决于程序和 DFT,埋藏缺陷仍需目标物理分析。
仍缺少的证据与适用条件
- 通用 ATE 规格不代表已经支持特定 D2D 协议、DFx 或定制工作负载。
参考资料
5条厂家或机构资料
展开查核来源与限制
参考资料
5条厂家或机构资料
产品页与 FOX-XP Rev C 简介列出最多 18 个 WaferPak 或 9 个 DiePak blade,系统单晶圆功率最高 3500 W。产品页另列 WaferPak 接触器最高 2 kW,需按配置分别确认。
限制:适用边界 系统功率上限、接触器容量和通道资源不意味着同一配置可以同时达到所有最大值。Burn-in 可暴露或筛选电性失效,但不能单独定位物理根因,也不保证特定可靠性或良率。 评估准备 BLNKK 建议整理 DUT 形态、引脚与接触载具、测试向量或 BIST、失效判据、初始电性,以及偏压、电流、温度和持续时间,并保留接触和应力误差的检查记录。 向供应商确认 请确认 DUT/接触器兼容性、测试覆盖和电性资源、功率配置、实际结温的测量方法,以及失效记录、接触检查和是否需要选配自动对准。现行 T-Core 页面列出最高 800 W 功耗管理、1 ms 闭环控制及最高 100°C/s 温度变化速率;2020 产品资料把 ±1°C 精度定义在加热器位置。2025 年 9 月 Eclipse 公告另列最高 3 kW,不能推广到所有配置。
限制:适用边界 加热器或温控头读数不一定等于器件结温,1 ms 控制环也不意味着结温能在 1 ms 内达到设定值。功耗、温度变化速率及温度规格需按温控头、接触界面和配置确认,不构成封装可靠性保证。 评估准备 BLNKK 建议整理器件与封装尺寸、瞬态功率波形、可用温度反馈、测试座/温控头接触和界面材料、设定值及允许偏差,并提供已校准的参考温度和电性结果。 向供应商确认 请确认温控头与分选机/测试机兼容性、结温估算或测量方法、稳态与瞬态验收条件、接触和测试座受力,以及所选配置可处理的功耗和温度范围。官网与 AMPS-BI 型录公开并行电性应力、多区温控和器件独立控制架构。这些是设备能力资料,尚非用户产品的筛选覆盖率、结温或可靠性资格验证。
限制:适用边界 老化筛选不等于完整可靠性资格,也不直接测量功率循环的热阻退化。不能默认最高功率、电流与通道数同时适用;温控值是否代表结温需确认。 评估准备 BLNKK 建议准备封装尺寸、插座/接点需求、电性程序、功耗变化和目标应力时间。补充温度测量基准、筛选覆盖率及失效判定,以便规划配置验证。 向供应商确认 确认可同时运行的器件数、每颗功率/电流/通道配置,以及控温位置与结温关系。另确认接触可靠性、程序切换、记录追溯和需要额外选配的功能。Chroma 2025 及 2026 年官方公告分别说明 3210-A 工程平台、3200 量产配置和条件迁移流程。
限制:适用边界 测试覆盖率取决于程序与工作负载;SLT 不能自行定位所有内部缺陷,也不等于完成封装可靠性验证。 评估准备 BLNKK 建议准备实际工作负载和功率波形、测试板与接点、温度反馈、失效记录及量产站数需求。 向供应商确认 请确认 3210-A 与 3200 各自的热引擎、接触及程序兼容性,以及条件迁移后的逐站校准和失效可观测性。Teradyne 公开不同基础系统与具体仪器,分别介绍供电、数字、SERDES/HSIO 和 RF 能力。
限制:适用边界 各仪器规格不代表每套系统都具备全部能力;电性筛查不能独立诊断裂纹、分层,也不等于完成老化筛选或可靠性验证。 评估准备 BLNKK 建议准备测试程序与 DFT 可见性、供电及接口需求、DIB/接触资料、温度条件和失效记录。 向供应商确认 请确认基础系统、所选仪器和夹具配置、程序兼容性及校准,并核对实际测试覆盖率与失败重现方法。评估前确认
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- 失效指标、工作负载、电压及时间点是否可追溯?
- 测试程序、DFx、接口及接触基准是否已确认?
- 实际器件温度、供电及冷却历程是否可比较?
- 是否有可复测的失效和正常器件及位置记录?
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